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    Osakavacuum渦輪分子泵TGkine3300M-B / 3400M-B資料

    更新時(shí)間:2024-05-08      瀏覽次數(shù):566
    • 將電源控制器與分子泵一體化

    • 省電設(shè)計(jì)

    • 輕巧設(shè)計(jì)

    • 對應(yīng)防護(hù)等級(jí)IP54

    • 多種通信接口

    • 對應(yīng)國際規(guī)格
      CE/NRTL/SEMI-S2

    • 繼承了TG-M的特點(diǎn)


    用途

    半導(dǎo)體制造設(shè)備

    FPD制造設(shè)備

    太陽能電池制造設(shè)備

    玻璃/鏡片等光學(xué)元件加工

    薄膜加工

    加速器/宇宙環(huán)境模擬設(shè)備

    OSAKA磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-B系列使用磁懸浮軸承實(shí)現(xiàn)無油的排氣,而且維護(hù)周期長。提供排氣速度300L/s~3400L/s的產(chǎn)品。

    TG-M系列產(chǎn)品型號(hào):

    TGkine1700M/TGkine2200M、TGkine3300M、TGkine3800M/TGkine4200M、耐反應(yīng)生成物 磁懸浮復(fù)合分子泵 TGkine-MI系列。

    磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-B系列產(chǎn)品特點(diǎn):

    ■將電源控制器與分子泵一體化

    ■省電設(shè)計(jì) 

    ■輕巧設(shè)計(jì)

    ■對應(yīng)防護(hù)等級(jí)IP54

    ■多種通信接口

    ■對應(yīng)國際規(guī)格


    CE/NRTL/SEMI-S2

    使用場合:

    ?半導(dǎo)體制造設(shè)備

    ?FPD制造設(shè)備

    ?太陽能電池制造設(shè)備

    ?玻璃/鏡片等光學(xué)元件加工

    ?薄膜加工

    ?加速器/宇宙環(huán)境模擬設(shè)備

    技術(shù)參數(shù):

    型號(hào)TGkine3300MTGkine3300M-40TGkine3400M
    吸氣口法蘭VG300

    ISO-B320

    VG300

    ISO-B320

    VG350
    排氣口法蘭KF40/KF50
    排氣速度N2(L/s)3300
    N2(附帶金屬防護(hù)網(wǎng)) (L/s)3100
    H2(L/s)2700
    最大壓縮比N2>1×108
    H23×103
    極限壓力VG?ISO-B(Pa)<2×10-7
    VG?ISO-B(Torr)<7.5×10-9
    最大氣體流量N2 (sccm)210040002100
    啟動(dòng)時(shí)間(min)≦11
    停止時(shí)間(min)≦13
    允許輔助壓力(Pa/Torr)170/1.28※1
    推薦輔助泵(L/min)≧2000
    輸入電壓(V)AC200-240V

    -15%+10%

     相數(shù)單相
     頻率(Hz)50/60
     電流(A)Max. 5.3
     所需電力(kVA)Max. 0.9
    通信接口
    (規(guī)格可選)
    Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet
    防護(hù)等級(jí)IP54
    安裝角度任意
    重量VG?ISO-B(kg)69
    控制器型號(hào)控制器與分子泵一體型

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